点光源是所有的光能聚集起来,在同一方向上传播。小型激光器就 是点光源的最好例子〇
实际上,点光源的定义涉及到一些物理和数学方面的知识,比如实 际光源的物理尺寸和物理形状,光源到模版的距离等。
在实际生产中,一个点光源就是一个小灯泡,如密封在一个拋物线 形反射室内的金属卤素灯。小灯泡本身含有许多细小的反光镜,反光镜 在一个方向上反射大部分光。通过把这一灯泡放进呈拋物线状的小室 中,使光进一步聚集,光束几乎互相平行。平行光束可减少模版曝光期 间的侧壁腐蚀和扩展等问题。
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