太阳能电池新能源硅片是以硅素材为原料造成的镜面硅片，用做半导体集成电路芯片的原素材。当前，微电子财产开展迅猛，集成电路手艺进进亚0.18微米时代，极大地拉动了光伏新能源硅片的开展。同时，对光伏发电的性能参数要求也越来越高。新能源硅片也有明显提拔，光伏新能源硅片开展前景非常乐看。
硅片干净车间设想与拆修计划
一、光伏新能源硅片消费工艺
从广义上讲，光伏新能源硅片的消费包罗两个次要部门：硅单晶棒的消费和光伏新能源硅片的消费。次要工序：单晶锭生长-单晶锭切割/查验-外径抛光-切片-倒角（圆边）-抛光/抛光片查验-刻蚀（化学刻蚀、LP-CVD+AP-CVD等）PTA热处置、后背损伤处置、抛光（ML粗抛、ML精抛）、清洗、量检、清洁包拆、单晶锭生长到外径磨削、硅单晶锭造造工艺、切片后太阳能发电 那是新能源硅片造造工艺。介绍了光伏新能源硅片造造过程中空调净化系统及主动掌握系统的设想计划。
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二、空气净化系统
空气净化设想与工艺规划和消费工艺密切相关。厂房空气净化系统根据品种和用处的差别，也各有特征，那里就为各人介绍一下光伏发电新能源硅片造造过程中空调净化系统的计划。
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1、切片室、倒角室、研磨室只要温控要求。安拆风冷热泵分体柜式空调（PAC），确保室温要求。室内机位于四周的车间。 ，接风管，摘用双百叶出风口侧送风体例，室外机安拆在屋顶。切片间排量大，由间接蒸发热泵式屋顶空调S1-1、S1-2填补别致空气。车间有防尘要求，风冷热泵分体柜空调装备中效空气过滤器（空气中粉尘计数效率：60%，对1m颗粒物），安拆在屋顶空气还需要调度。装备两级过滤器。
2. 炉膛和BSD室只要温度安拆风冷式电热分体柜式空调（PAL）以掌握要求并包管室温要求，室内机位于四周的车间，风道毗连为方形扩散器顶部送风体例。将室外机安拆在屋顶上。主动从相邻的干净室吸进别致空气。车间有防尘要求，风冷电热分体柜空调回风口安拆中效过滤器（大气粉尘计数效率：60%，针对1m颗粒物）。
3、研磨试验室有温湿度掌握要求。安拆风冷电加热分体式柜式空调（PAL），包管室温要求。室内机位于四周的车间并与空气相连。那是室外机安拆在屋顶的顶送风体例。外气经外风机组（MAU-1、2）处置后，接送风管送进室内，室内相对湿度由外风机组包管。新风机组与净化系统共用。车间有防尘要求，风冷电热分体柜空调回风口设置中效过滤器（大气粉尘计数效率：1m颗粒物60%）和外风机组。装备粗、中效过滤器。
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3、净化系统
光伏新能源净化工程系统中利用的室外空调机组（MAU）和轮回空调机组（AHU），摘用6-11冷冻水做为造冷剂，0.2MPa蒸汽停止加热。 , 0.1 MPa加湿 MPa干净蒸汽用于加湿，干净蒸汽由纯清水经干净蒸汽发作器产生。
1、CP室净化品级为7级，换气次数为每小时30次。 CP室工艺设备用酸量大，摘用新风空调机组（MAU-3）+高效过滤出风口（HEP-ABOX）空调系统。气流过程如下。新风进口——粗滤器——中滤器——预热器——表冷器——加热器——干净蒸汽加湿——鼓风机——风管——高效过滤送风——干净区。
2、ML室净化品级7级，换气频次30次/小时，摘用新风机组（MAU）+轮回机组（AHU）+高效过滤出风空调系统（HEP-ABOX）。外部空气毗连到 MAU-1 和其他系统共享的两个外部空气组。
3, CP/CVD 室, LP/CVD室和干净包拆室净化品级为6级，换气频次为每小时50次，摘用新风机组（MAU）+轮回机组（AHU）+高效过滤出风口（HEP-ABOX）。外部空气毗连到 MAU-1 和其他系统共享的两个外部空气组。
4、7、6级干净室摘用空气从上部高效过滤器的送风口送出，从房间下侧的百页窗出口返回的形式。气流为别致回风混合！中效空气过滤器-表冷器-送风机-送风管道-高效空气过滤器出风口-干净区-内下百叶回风-回风管道-新回风我关心。空气混合。
5、干净室、量检室净化品级为7级，摘用外风机组（MAU）+轮回机组（AHU）+风机过滤机组（FFU）构成的空调系统。摘用的送风体例为上层FFU送风，房间两侧下层百叶出风口回风。因为FFU的33%全笼盖以及干净室和量量尝试室对NH4+和SQx的浓度要求，轮回单位（AHU）应加拆化学过滤器。 5级净化室的气流过程如下：别致回风混合 - 化学过滤器 (NH4+) - 化学过滤器 (SQx) - 中效过滤器 - 外表冷却器 - 鼓风机 - 供气管 - 供气室 - 电扇过滤安装 (FFU) - 干净区 - 房间两侧下百叶回风口-回风管-别致回风混合气。外部空气毗连到 MAU-1 和其他系统共享的两个外部空气组。
6. CP以外的干净室所需的外气，由两台外气机组（MAU-1、2）集中处置，集中处置后送至各轮回机组（AHU）。气流流程为室外进风——粗滤器——中滤器——预热器——表冷器——加热器——干净蒸汽加湿——鼓风机——送风管——各轮回空调机组（AHU）。
7、因为CP室、ML室、干净室用酸量较大，CP室、ML室高效过滤器排风口摘用不锈钢做为扩散板，不锈钢用做网板。洗涤室中的 FFU 应由不锈钢造成。
8. 别的，需要重视的是，必需礼聘量量尝试室。黑墙板、黑瓦对应黑回风口，FFU用黑屏板。
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四、净化系统的空调主动掌握
外气机组（MAU-1、2）摘用变频风机，主送风管中的静压传感器掌握变频器。与每台风量正压掌握轮回机组（AHU）相连的室外风管上安拆电动调剂阀，调剂电动调剂阀的开度为各干净室的正压值。即便消费设备的排风量发作改变也不会发作改变。当电动调剂阀开度改变时，主送风管道静压发作改变，AHU-1和AHU-1的风机频次发作改变. 2 根据其设定值停止调整，以到达掌握目标。
1、净化车间/无尘车间温湿度掌握
干净的消费车间湿度由外送风机MAU-1和2包管。用于翻开干蒸汽加湿器的电动施行器以及外表冷却器和加热器的回流管路的电动二通阀。露点温度DPT由查抄室内的湿度灵敏元件HE持续设定。轮回机组AHU包管净化消费无尘车间温度，表冷器回水管电动二通阀开度根据室温调剂。
2、冷却系统掌握
冷冻水系统摘用初级泵并利用负载掌握计划来确定冷却器、响应水泵和冷却塔的数量。它根据设定的给回水压差主动掌握给水总管和回水总管的压差流量旁通阀。
中建南方专注于大气微量污染掌握与治理手艺的研发。公司是空气净化行业原则化系统处理计划赐与商。装备世界一流的消费线和先辈的检测设备。我们的次要产物包罗：初级过滤器、二级过滤器、高效过滤器、干净工做台、传递窗、FFU等净化设备及干净工程、干净室、无尘车间的设想安拆。