浙江德锐斯:净化厂房拆修过程中干净度品级、干净空气气流抉择
GBJ73-84中规定空气干净度分为4个品级,即100级、1000级、10000级、100000级,跟着微电子、集成电路工业的高速开展,干净厂房对空气干净度的要求越来越高,要求掌握尘粒的粒径到0.1µm以下,为了与国际接轨,新标准等同摘用国际原则ISO14644-1中的有关规定,空气干净度品级从4个品级增加为9个品级,即1级、2级……9级。
干净室及干净区选列的悬浮粒子干净度品级
ISO品级序数(N)
大于或等于表中被考虑的粒径的更大浓度限值
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
1μm
5μm
ISO Class 1
10
2
ISO Class 2
100
24
10
4
ISO Class 3
1 000
237
102
35
8
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ISO Class 4
10 000
2 370
1 020
352
83
ISO Class 5
100 000
23 700
10 200
3 520
832
29
ISO Class 6
1 000 000
237 000
102 000
35 200
8 320
293
ISO Class 7
352 000
83 200
2 930
ISO Class 8
3 520 000
832 000
29 300
ISO Class 9
35 200 000
8 320 000
293 000
注:因为涉及丈量过程的不确定性,要求用三个有效的数据来确定浓度品级程度。
标准中对干净空气气流的抉择也做了明白的规定“关于空气干净度品级要求1~4级时,应摘用垂曲单向流;空气干净度品级要求为5级时,应摘用垂曲单向流或程度单向流;6~9级时,宜摘用非单向流”。所谓气流流型就是对干净室内空气的活动形态和散布停止合理的设想。其特征:应考虑制止或削减涡流,有利于敏捷有效地肃清污染物,应尽量限造和削减室内污染源散发的尘和菌的扩散,庇护室内消费情况所要求的空气干净度品级。
因为干净室的特殊性,一般照明灯具的选型应选用外型外表光滑,凹凸面少不容易积灰,随便清扫且不宜产生静电素材造成的灯具。在称心照度要求外,灯具的选型和安插次要还应根据室内气流流型来考虑。程度单向流干净室,建筑层高不太高,送、回风口均安拆在侧墙,顶棚便于灯具安插,可摘用嵌进式荧光灯,尽量削减对气流的影响。
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